Мишените от никел-ниобиева сплав са мишени за разпръскване, направени чрез топене на никел (Ni) и ниобий (Nb) като основни елементи в определено съотношение. Те се използват главно в процеси на физическо отлагане на пари (PVD), особено магнетронно разпрашване, за получаване на функционални тънки филми върху различни субстрати.
Метод за приготвяне на мишени от никел-ниобиева сплав
1. Подготовка на суровините: Изберете прахове от никел и ниобий с висока-чистота като суровини, като гарантирате, че тяхната чистота отговаря на изискванията за целевата подготовка. Например, чистотата на праховете от никел и ниобий може да достигне над 99,9%.
2. Смесване на прахове: Претеглете точно праховете от никел и ниобий в съответствие с проектираното съотношение на състава на сплавта и ги разбъркайте добре в смесително устройство. За да се осигури равномерно смесване, може да се използва топкова мелница, като се контролира подходящото време на смилане и съотношението топка-към-материал.
3. Пресоване: Равномерно смесените прахове се поставят във форма и се пресоват чрез студено изостатично пресоване (CIP) или горещо изостатично пресоване (HIP), за да се получи целева заготовка с определена плътност и якост. Студеното изостатично пресоване (CIP) позволява първоначално уплътняване на праха при относително ниско налягане, докато HIP допълнително увеличава плътността на целевата заготовка при висока температура и високо налягане.
4. Агломериране: Пресованата целева заготовка се синтерова във вакуумна пещ, за да се елиминират порите между прахообразните частици и да се подобри плътността и производителността на мишената. Температурата и времето на синтероване са ключови параметри. Температурите на синтероване обикновено варират от 1000 градуса до 1500 градуса, а времето за синтероване варира от няколко часа до няколко десетки часа. Оптимизацията зависи от състава и размера на целта.
5. Машинна обработка: След синтероване целта изисква механична обработка, като струговане и шлайфане, за постигане на желаните размери и повърхностно покритие.
Приложения на мишени от никел-нибиева сплав
Полупроводници: Те могат да се използват за разпръскване за образуване на бариерни слоеве, електроди и връзки. Тънките слоеве от никел-нибиеви сплави ефективно предотвратяват дифузията на метални атоми, подобрявайки производителността и надеждността на полупроводниковите устройства и са от решаващо значение за производството на интегрални схеми.
Технология на дисплея: В дисплеи с плосък-панел като OLED и дисплеи с течни кристали, мишени от никел-нибиева сплав могат да се използват за формиране на електроди или отразяващи слоеве, което спомага за подобряване на яркостта на екрана, скоростта на реакция и стабилността на цветовете.
Оптично покритие: Те могат да се използват за образуване на различни оптични покрития, като инфрачервени отразяващи филми и устойчиви{0}}лазерни повреди филми, за приложения в прецизни оптични устройства, лазерни системи и оптични инструменти, за да отговорят на различни изисквания за оптична производителност.
Износоустойчиво-и корозионно-устойчиво покритие: Благодарение на отличната си износоустойчивост и устойчивост на корозия, мишените от никелова-нибиева сплав могат да се използват за образуване на износоустойчиви- и корозионно-тънки слоеве върху механични части и повърхности на инструменти, подобрявайки живота и производителността на компонентите. Те имат широки перспективи за приложение в индустрии като космическото, автомобилното производство и машиностроенето.
