Мишенен материал от никел-кобалт-ванадиева сплав се прави чрез топене и обработка на никел (Ni), кобалт (Co) и ванадий (V) в специфични пропорции под формата на шестоъгълни или кръгли плочи. Това е основен „източен“ материал в технологията PVD (физическо отлагане на пари). Във вакуумна среда, използвайки една от многото техники като магнетронно разпрашване или електродъгово йонно покритие, високо-енергийни частици го бомбардират, причинявайки отлагане на атоми или молекули на целевия материал върху повърхността на работния субстрат (което може да бъде силициеви пластини, стъкло или метал). под формата на тънък филм, като по този начин покрива субстрата със специално функционално покритие.
Процес на подготовка на мишени за разпръскване от никел-кобалт-ванадиева сплав
Подготовка на суровината: Листове от електролитен никел и кобалтови и ванадиеви блокове с чистота по-голяма или равна на 99,95% се избират и претеглят според проектиран състав (напр. Ni-20Co-5V) и рискът от замърсяване се избягва.
Вакуумно топене: VIM (вакуумно индукционно топене) е типичен процес за осигуряване на равномерно разтваряне на съставките и еднакъв състав на получените слитъци. За допълнителна еднородност на размерите и за намаляване на сегрегацията може да се приложи вакуумно дъгово претопяване (VAR) за няколко цикъла на претопяване.
Горещо коване/горещо валцуване: След хомогенизиращо отгряване блоковете преминават през няколко цикъла на горещо коване и горещо изтегляне или се валцуват горещо в заготовки за материал, за да се усъвършенства микроструктурата и да се разрушат едрите зърна.
Термична обработка: След коване/валцоване, материалът преминава през допълнителна стъпка на обработка, при която се извършва рекристализиращо отгряване, за да се облекчат напреженията при обработката и да се усъвършенства микроструктурата до целеви размер на зърното По-малък или равен на 100 μm.
Прецизна обработка и залепване: Материалът се стругова и завършва до размер чрез шлайфане.
Приложения за разпръскване на мишени от никел-кобалт-ванадиева сплав
Функционални защитни покрития: Покрития, които са ултра{0}}твърди, устойчиви-на износване и устойчиви на висока-температура, могат да бъдат направени с тези покрития. Експлоатационният живот и надеждността на компонентите на самолетните двигатели, турбинните лопатки и режещите инструменти от висок-клас, както и повърхностите на формите, са значително подобрени чрез прилагането на тези покрития.
Област на микроелектрониката и полупроводниците: Тези покрития се използват като дифузионен бариерен слой или адхезивен слой. В рамките на производството на интегрални схеми те се използват в процесите на формиране на свързване, за да се ограничи дифузията на мед в силициевите или диелектричните слоеве и да се задържи медта по-силно към основните материали. Основните предимства на тези покрития са висока стабилност и ниско съпротивление.
Индустрия за прецизна оптика и дисплеи: Могат да се правят покрития с висока-плътност и висока стабилност, както и проводими, електромагнитно екраниращи тънки филми.
Индустрия за съхранение на данни: В производството на твърди дискове може да се използва за подготовка на определени функционални слоеве от магнитни глави или дискове, като се използват добрите му магнитни свойства и устойчивост на износване.
Устойчиви на-и корозия-компоненти: Тънки филми от сплав Ni-Co-V се отлагат върху повърхностите на прецизни машини, критични автомобилни компоненти и химическо оборудване за подобряване на повърхностната твърдост, намаляване на коефициента на триене и подобряване на устойчивостта на корозия.
