Мишените за разпръскване на никел-кобалт-железни сплави съдържат специфични пропорции на никел (Ni), кобалт (Co) и желязо (Fe). Тези сплави се правят в планарни или въртящи се мишени за разпрашаване и се използват в полупроводниковата, фотоволтаичната, прецизната оптика и функционалните покрития. Приготвянето на тези сплави е специфично и изисква внимание към детайлите, за да се постигне еднакъв химичен състав, плътност в твърдо-състояние, равномерна гранулация и качество на повърхностите.
Метод за приготвяне на мишени за разпръскване от никелова-кобалтова-желязна сплав
Топене на суровини: Блоковете от никел, кобалт и желязо с висока чистота се разпределят и се поставят във вакуумна индукционна пещ за топене. Материалите се нагряват под вакуум, докато се разтопят напълно и се разбъркват, за да се предотврати сегрегацията на състава.
Леене и формоване: Разтопена никелово-кобалтово-желязна сплав се излива в графитна форма и се охлажда, за да се получи легираща заготовка и да се предотврати образуването на едри зърна.
Коване и валцуване: Сплавите се подлагат на процеси на високо{0}}температурно коване и горещо валцуване, за да се разруши структурата на отливката.
Машинна обработка и залепване: Материалът от сплав на никел-кобалт-желязо се изрязва-с трион във форма и се синтезира.
Употреби на мишени за разпръскване от никел-кобалт-желязо
Интегрални схеми, където се използва за Cu дифузионни бариерни слоеве, Ta/CoFe двуслойни електроди и слоеве без магнитни тунелни съединения (MTJs).
Тънко{0}}слойни слънчеви клетки, където служи като заден електрод или буферен слой за подобряване на омичния контакт и устойчивостта на атмосферни влияния.
MEMS и сензори, където се използва в производството на индуктори с ниски-загуби, магнитни екраниращи слоеве и микро-магнитни задвижващи механизми.
Повърхностни функционални покрития, където се използва като устойчиво-на износване, корозия-и декоративно покритие за автомобилни части, аерокосмически крепежни елементи и биомедицински импланти.
