Параметри на ITO Target Performance
1. Чистота: ITO е насочена към индустриалните стандарти за чистота от 99,99% (4N) до 99,999% (5N). Когато чистотата е по-висока, тя дава намален брой замърсители, което означава по-малко несъвършенства за филми, създадени от целта.
2. Кристална структура: ITO мишените обикновено са съобразени с кубична кристална структура с параметър на решетката от приблизително 10,118 Å. Качеството на кристалната структура влияе върху качеството на произведените филми.
3. Топлопроводимост: Целите ITO имат топлопроводимост от около 20 до 30 W/(m·K). По-добрата топлопроводимост спомага за бързото провеждане и разсейване на топлината, което намалява загубата на целевия материал по време на разпръскване.
4. Електрическа проводимост: ITO има висока електрическа проводимост от 10^3 - 10^4 S/cm, което е предимство за производството на прозрачни проводими филми.
5. Магнетизъм: ITO мишените с висока-чистота имат по-слаб магнетизъм. Това е от полза за стабилността на ITO мишените по време на разпръскване. Целта на ITO е направена да има контролиран среден размер на частиците от 1-5 μm. Това гарантира еднаквост на етапа на разпръскване. Плътността обикновено е близо до 95% или по-висока от теоретичната плътност. Това е важно за увеличаване на ефективността на разпръскване и впоследствие на качеството на филма.
Методи за създаване на ITO цели
1. Метод на металургичния прах
Смесване: Първо, в случая на индиев оксид (In2O3), се включва малка част от калаен оксид (SnO2), който е вторият компонент. Такава смес от прахове, в случая на ITO целта, води до нейните електрически характеристики.
Топково смилане: Топковата мелница се използва за обработка на сместа, така че тя да бъде еднородна по отношение както на еднородност, така и на реактивност. Отчитането на метода и времето на обработка в този случай е важно, тъй като е важно за формата и размера на праха.
Пресоване: Обработеният прах се пресова на топка, за да се подобри равномерната плътност, което допълнително спомага за подобряване на формата. Плътността и еднородността на пресовката директно влияят върху резултатите от последващия процес на синтероване.
Агломериране: Уплътняващото тяло се нагрява до температури на синтероване, което води до ефекти на синтероване, които позволяват изграждането на "плътни" блокове от насипния индий-калаен оксид (ITO).
2. Сол-гел техника
Синтез на зол: Подходящи индиеви и калаени соли се избират като суровини и се подлагат на химическа реакция, за да се образува зол в разтворител. Контролирането на реакционните условия може да доведе до получаване на силно равномерен зол. Отлежаване: Образуваният зол отлежава, за да се подобри неговата стабилност и да се предотврати неравномерно утаяване по време на последваща топлинна обработка.
Допустим контрол на трансформацията: Фокусирайки се повече върху полезното насочване, ITO съдържащите прахообразни части включват трансформация и преобразуване на структурата на съединението в полезни елементарни части, още повече в този случай.
Агломериране: Прахът е покрит с въглеводород и следователно се слива в ITO, така че свойствата и характеристиките позволяват ефект на синтероване.
3. Процес на студено пресоване и синтероване
Студено пресоване: За да се образува блок от ITO прах, той се въвежда във форма и се уплътнява при стайна температура чрез механично пресоване. Този метод не включва прилагане на топлина; по този начин, терминът студено пресоване.
Отстраняване на свързващо вещество: В случай, че свързващо вещество е включено по време на студено пресоване, то трябва да бъде елиминирано преди етапа на синтероване, обикновено чрез процеси на топлинна обработка.
Агломериране: ITO уплътнен студено пресован се зарежда в пещ за синтероване и се синтерова при повишени температури. Студеното пресоване на ITO тела позволява на тези материали да прекарват по-малко време при повишени температури, като по този начин, от своя страна, намаляват растежа на зърната и подпомагат микроструктурния контрол на материала.
4. Вакуумно горещо пресоване
Вакуумно пресоване: ITO прахът е горещо-пресован във вакуумна среда. Вакуумната среда ефективно предотвратява окисляването и намалява въвеждането на примеси.
Едновременна топлинна обработка: За разлика от традиционното пресоване, вакуумното горещо пресоване съчетава пресоването и топлинната обработка в един процес. Прахът се синтерува едновременно под налягане и температура, което води до цел с по-висока плътност и по-добра производителност. Охлаждане: След горещо пресоване целта ITO трябва да се охлади бавно при контрол на температурата, за да се предотвратят пукнатини или вътрешно напрежение в материала поради прекомерна скорост на охлаждане.
Праховата металургия е подходяща за-мащабно производство и предлага относително ниски разходи, но може да има ограничения по отношение на контрола на размера на частиците и еднородността на материала. Въпреки че методът на сол-гел включва по-сложни стъпки и е по-скъп, той произвежда продукти с по-малко и по-равномерно разпределение на размера на частиците, което го прави подходящ за приложения, изискващи изключително високо качество на филма. Както процесите на студено пресоване, така и вакуумното горещо пресоване могат да постигнат висока плътност и равномерна микроструктура при подготовката на ITO мишени, които са от решаващо значение за еднородността и ефективността на филма.
Вакуумното горещо пресоване по-специално постига превъзходен микроструктурен контрол, като същевременно поддържа висока целева плътност поради едновременната си работа при високо налягане и температура.
Препоръки за прилагане за ITO цели
1. Сензорни екрани и дисплеи:
- Прозрачните проводими филми (TCF) се използват за LCD екрани, сензорни панели и OLED дисплеи. Най-добре е да използвате ITO мишени за фини-частици за TCFs, постигайки превъзходни свойства на прозрачност и проводимост.
- Адхезията и еднородността на филма могат да бъдат подобрени чрез контролиране на температурата на субстрата и мощността на разпръскване.
2. Фотоволтаични модули:
- С ITO мишени слънчевите тънки филми и други слънчеви тънкослойни клетки могат да имат подобрена ефективност на фотопреобразуване.
- Фотоволтаичните материали, чувствителни към високи температури, трябва да се обработват с помощта на нискотемпературни-методи на разпръскване.
3. Оптоелектронни устройства: - Слоевете за дифузия на ток или антиотражателните слоеве в лазерните диоди и светодиодите са направени от ITO тънки филми.
- За ITO мишени с по-добра проводимост отколкото пропускливост, извършете разпръскване с високо качество на оптичния филм, за да намалите загубите по време на отлагането.
4. Сензори: - При изграждането на чувствителни слоеве или електроди на газови сензори и биосензори ITO тънките филми намират приложение.
- За оптимална точност на биосензора тънкослойните електроди трябва да бъдат направени от материали с висока-чистота, а чувствителните слоеве трябва да бъдат настроени към околната среда.
5. Приложения на ITO тънки филми: Антистатичен ITO тънък филмов граничен интерфейс: - Благодарение на проводимостта на ITO тънки филми, те могат да се използват за предотвратяване на антистатични смущения и електромагнитни смущения в електронни устройства, както и устройства с ITO.
- Трябва да се внимава да се балансират проводимостта и прозрачността на материалите и трябва да се избере правилният целеви материал, който да отговаря на изискванията на дадена среда.
Различните ITO целеви материали трябва да бъдат съобразени с дадена ситуация въз основа на тяхната употреба. Освен това, качествата на ITO тънкия филм могат да бъдат подобрени чрез наблюдение на целевите условия, като температура, скорост на отлагане и целева скорост на потребление по време на процеса на разпрашаване.
Съхранение и грижа за ITO Target
1. Защитни мерки по време на съхранение:
- ITO целите изискват сухо, чисто и температурно-стабилно съхранение, за да се предотврати каквато и да е промяна на тяхната физическа форма и химичен състав, причинена от колебанията на температурата и влажността.
- За да се избегне замърсяване, ITO целите също не трябва да съдържат корозивни течности и газове. По този начин запечатаните опаковки биха били подходящи за съхранение.
2. Защита от замърсители и прах:
- По време на целия период на съхранение и боравене мишената трябва да бъде почистена от прах и всякаква форма на замърсяване, за да се избегне повлияване на ефективността на разпръскване. Кърпи без{2}}прах и специални защитни филми биха били подходящи за покриване на мишените.
3. Мониторинг на температурата:
- Въпреки че ITO целите са изключително стабилни, тяхната функционалност може да бъде нарушена от много високи или много ниски температури. Оптималната температура на съхранение обикновено е 15-25 градуса по Целзий.
4. Контрол на влагата:
- Относителната влажност (RH) в зоната за съхранение трябва да се контролира в диапазона 40% – 60% RH. Влажността може да се контролира чрез използване на десиканти, както и устройства за контрол на влажността.
5. Поддръжка и почистване: - Извършете оценка на постоянната цялост на целта. Не използвайте мишената, ако има пукнатини или някаква форма на повреда. - За почистване на мишената използвайте алкохол с висока-чистота или дейонизирана вода. Не използвайте никаква форма на органични разтворители или силни киселинни или силно алкални почистващи агенти.
6. Подготовка преди употреба: - Преди да поставите мишената в оборудването за разпръскване, уверете се, че е чиста, за да предотвратите замърсяване, като я почистите в атмосфера на чиста стая.
- Преди разпръскване извършете период на пред-разпръскване, за да се уверите, че всички малки примеси, които биха могли да бъдат върху целевата повърхност, са отстранени.
7. Записи за поддръжка: - Препоръчително е да поддържате целева употреба и запис за поддръжка, описващ подробно всяка употреба и условия на съхранение, за да проследявате промените в производителността и да правите навременни корекции.
Като следвате тези препоръки за съхранение и поддръжка, можете ефективно да удължите живота на вашата ITO цел, да осигурите стабилен процес на разпръскване и да произвеждате високо{0}}качествени тънки филми.