Компоненти от тежка волфрамова сплав (WHA) за йонна имплантация
Като цяло волфрамът и молибденът са решаващи материали за компоненти, използвани в системи за имплантиране на йони, особено в рамките на пътя на лъча. Тези материали са избрани заради способността им да издържат на суровите условия на имплантиране на йони, включително високи температури, силни магнитни полета и агресивни технологични газове.
Защо волфрам и молибден?
Високи точки на топене:
И волфрамът, и молибденът имат много високи точки на топене, което им позволява да издържат на екстремните температури, генерирани по време на имплантирането на йони.
Устойчивост на корозия:
Те показват отлична устойчивост на корозия, което е жизненоважно, когато са изложени на реактивните газове и страничните продукти от процеса на йонна имплантация.
Висока якост и топлопроводимост:
Тези свойства са от съществено значение за поддържане на структурната цялост на компонентите и ефективното разсейване на топлината по време на работа.
Висока чистота:
Материалите с висока чистота минимизират замърсяването на йонния лъч и имплантирания материал.
Типични компоненти за йонна имплантация, направени от волфрам и молибден:
камери:
Вакуумните камери, в които се помещават източникът на йони и целевата зона, често са направени от волфрам, молибден или техни сплави.
Нишки:
В йонните източници нишките, направени от волфрам или волфрамови сплави, се използват за генериране на плазма, от която се извличат йони.
Дъгови прорези:
Тези компоненти помагат за оформянето и насочването на йонния лъч и често са направени от волфрам или молибден.
Държачи и катоди:
Различни държачи и катоди в йонния източник и пътя на лъча са произведени от тези огнеупорни метали.
Резервни части:
Компонентите от волфрам и молибден също се използват за различни резервни части и заместители в имплантора.
Компоненти на Beamline:
Компоненти в линията на лъча, като ограничители на лъча и отвори, също могат да бъдат направени от волфрам или молибден.
Примери за компании, предоставящи компоненти за йонна имплантация:
Въпреки това, волфрамовите тежки сплави (WHA), особено съставите на W-Ni-Fe и W-Ni-Cu, се използват широко в системи за имплантиране на йони поради тяхната изключителна плътност, свойства за екраниране на радиация и термична стабилност. Тези сплави са идеални за компоненти, изискващи голяма маса, издръжливост и устойчивост на йонно бомбардиране.
Ключови свойства за приложения за йонна имплантация
✔ Висока плътност (17-18,5 g/cm³) – Ефективен за блокиране на разсейването на йони и подобряване на контрола на лъча.
✔ Отлично екраниране на радиация – минимизира емисиите на рентгенови-лъчи и вторични електрони.
✔ Висока точка на топене и термична стабилност – Издържа на високо{0}}енергийно йонно бомбардиране без деформация.
✔ Добра обработваемост – Може да се обработва прецизно-в сложни форми (в сравнение с чистия волфрам).
✔ Ниско отделяне на газове – Критично за поддържане на условия на висок вакуум в йонни имплантори.
Общи компоненти на WHA при йонна имплантация
Стопери и отвори на лъча – Контролира и оформя йонните лъчи.
Фарадей чаши – Измерва точно тока на йонния лъч.
Екраниращи блокове и колиматори – Намалява нежеланото разсейване на йони.
Компоненти за работа с вафли – Издръжливи части за обработка на полупроводници.
Компоненти на изолатора – висока диелектрична якост, където е необходимо.
Защо да изберете WHA пред чист волфрам?
По-добра обработваемост (поради Ni/Fe/Cu свързваща фаза).
По-висока якост на счупване (по-малко чуплива от чистата W).
Рентабилен-за сложни геометрии.
Налични степени и персонализиране
Стандартни степени: W90NiFe, W93NiFe, W95NiFe, W97NiFe
Персонализирани композиции и размери (пръти, плочи, машинно обработени части)
Повърхностни покрития: Полирани, шлифовани или с покритие за подобрена производителност.
Ако има потенциални въпроси, моля свържете се с нас: info@yitechtrading.com