Силициева (Si) мишена за разпръскване

Поликристалният силиций, наричан също полисилиций или поли-Si, е поликристална форма на силиций с висока чистота, използвана като суровина от соларната фотоволтаична и електронна индустрия. Полисилицийът се произвежда от силиций с металургичен клас чрез процес на химическо пречистване, наречен процес на Siemens. Този процес включва дестилация на летливи силициеви съединения и тяхното разлагане в силиций при високи температури. Нововъзникващ алтернативен процес на рафиниране използва реактор с кипящ слой.

Фотоволтаичната промишленост също така произвежда подобрен металургичен силиций (UMG-Si), като използва металургични вместо химически процеси на пречистване. Когато се произвежда за електронната промишленост, полисилицийът съдържа нива на примеси по-малко от една част на милиард (ppb), докато поликристалният слънчев клас силиций (SoG-Si) обикновено е по-малко чист.

Изходният материал от полисилиций – големи пръти, обикновено начупени на парчета със специфични размери и опаковани в чисти помещения преди изпращане – се отлива директно в мултикристални блокове или се подлага на процес на прекристализация за отглеждане на монокристални бутилки. След това продуктите се нарязват на тънки силициеви пластини и се използват за производството на слънчеви клетки, интегрални схеми и други полупроводникови устройства.

Силициевата мишена за разпръскване, като много важен функционален материал, се използва главно за отлагане на SiO2, Si3N4 и друг диелектричен слой чрез процес на магнитно разпръскване. Тези тънки филми се характеризират с отлична твърдост, оптични, диелектрични свойства, устойчивост на износване и корозия, което се прилага широко в областта на LCD прозрачното проводящо стъкло, LOW-E строително стъкло и микроелектрониката.

Планарна / въртяща се мишена от SiAl

Мишена за разпръскване на SiO2

SiC мишена за разпрашаване

Si3N4 мишена за разпръскване

Популярни тагове: силициева (si) мишена за разпръскване, Китай доставчици на силициева (si) мишена за разпръскване, фабрика