Описание на продуктите
Алуминиево-медната мишена за разпръскване е перфектна за редица индустрии и приложения поради високата си твърдост, якост на опън и леко тегло. Обикновено има 1-3% съдържание на мед и има сходни химични свойства с алуминия. AlCu има високи механични свойства, отлична обработваемост и пригодност за високи температури, така че може да бъде подходящият материал за високопроизводителна алуминиева сплав. Мишена за разпрашаване от AlCu сплав с висока чистота може да се използва в широк спектър от индустриални области от полупроводникови и електронни функционални компоненти. С 5N висока чистота, еднакъв размер на зърното, по-ниско съдържание на кислород, крайният потребител може да получи постоянни скорости на ерозия, както и висока чистота и хомогенно тънкослойно покритие по време на PVD процес.
При производството на интегрални схеми е често срещано явлението дифузия на силиций в алуминиевия свързващ слой. Ако към алуминия се добави наситена концентрация на силиций, за да се образува алуминиево-силиконова сплав, проблемът може да бъде ефективно подобрен. Така че ние също произвеждаме алуминиева силициева AlSi мишена за разпрашаване и алуминиева силициева медна AlSiCu мишена за разпрашаване за IC приложение.
|
Категория |
Мишена за разпръскване от сплав |
|
Химична формула |
АлКу |
|
Състав |
Алуминиева мед |
|
Чистота |
99.9%,99.95%,99.99% |
|
Форма |
Плочи, мишени за колони, дъгови катоди, изработени по поръчка |
|
Производствен процес |
Вакуумно топене, PM |
|
Наличен размер |
L По-малко или равно на 200 mm, W По-малко или равно на 200 mm |
Свързани материали за разпръскване
AlCu99,5/0.5wt% мишена за разпръскване
AlCu99/1wt% мишена за разпръскване
AlCu98/2wt% мишена за разпръскване
AlCu95/5wt% мишена за разпръскване
AlCu90/10% тегл. мишена за разпръскване
AlSiCu 98,5/1/0.5wt% мишена за разпръскване
AlCuW 98,5/1/0.5 тегл.% мишена за разпръскване
Популярни тагове: алуминиева медна (alcu) мишена за разпръскване, Китай доставчици на алуминиева медна (alcu) мишена за разпръскване, фабрика
